TTV 厚度翹曲量測
1.量測晶圓尺寸 : 12吋透明玻璃。
2.橫向解析度 typical (量測17點)。
3.量測單一定點重複性≦ 2 μm (Thickness，TTV)。
4.量測時間≦ 60 sec/片 @ 全域12吋晶圓。
5.具有產生數據 Bow、Warp (計算數據)。
•晶圓TTV量測機 規格
1.量測晶圓尺寸 : 12吋透明玻璃。
2.橫向解析度 typical (量測17點)。
3.量測單一定點重複性≦ 2 μm (Thickness，TTV)。
4.量測時間≦ 60 sec/片 @ 全域12吋晶圓。
5.具有產生數據 Bow、Warp (計算數據)。
1.具有產生數據 Bow。
2.具有產生數據 Warp 。
6.具有量測數據 Thickness，TTV， x/y方向剖線圖 (分析數據) 。
1.具有量測數據 Thickness。
2.具有量測數據 TTV。
3.具有量測數據 x/y方向剖線圖。
7.具有 量測 (高度彩色圖)數據圖。
8.提供3種量測時程模型 A. 精密量測 每個量點 停1秒。B.高效率且精密量測 每個量點 停50毫秒。C. 高速量測 每個量點 移動量測。
1.精密量測 每個量點 停1秒。
2.高效率且精密量測 每個量點 停50毫秒。
3.高速量測 每個量點 快速量測。